近日，中国创造学会2025年学术年会在福建省福州市召开，并颁发了第十五届中国创造学会创造成果奖。我校阎秋生副校长牵头的科研成果“动态集群磁流变晶圆基片高效超光滑抛光关键技术及应用”荣获科学技术进步奖一等奖并作大会报告。

       该成果针对半导体晶圆加工中超精密抛光环节的技术瓶颈，创新性地提出“动态集群磁流变抛光”技术，攻克了传统抛光技术易产生表面损伤、加工效率低等难题，为半导体装备制造行业技术升级与高质量发展提供了重要技术支撑。

       据悉，“中国创造学会创造成果奖”是经国家科技部批准、国家奖励办登记在册的社会力量设奖，每两年评选一次，是创造学界的最高奖项，具有推荐国家科学技术奖资格。

       本届“中国创造学会创造成果奖（科学技术进步奖）”共评选出特等奖2项，一等奖9项，二等奖21项，三等奖10项。

       近5年，学校科研成果获奖量质双升，获各类科研奖励28项，其中作为合作单位获得广东省科技进步奖一等奖1项、省技术发明奖二等奖2项以及东莞技术发明奖特等奖1项。此次获奖是我校在科研获奖实现的新突破，为申硕工作再添强力支撑。接下来，学校将以硬核科技成果为学校高质量发展夯基立柱，把技术动能与高层次人才同步注入粤港澳大湾区建设。